类金刚石薄膜摩擦性能AFM/FFM试验

• 作者: 丁建宁 范真 解国新
• 来源期刊: 农业机械学报
• 学科: 工学
• 关键词: 类金刚石薄膜 摩擦特性 摩擦力显微镜 微机电系统
• 年，卷（期）: 2006,（11）
• 所属期刊栏目: 先进制造技术及基础理论
• 页码范围: 148-151
• 页数: 4页
• 分类号: TH11
• 字数: 2583字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1298.2006.11.039

摘要

用摩擦力显微镜(FFM)研究了不同类金刚石(DLC)薄膜的微观摩擦性能.利用化学气相方法沉积制备了DLC薄膜,观察了表面形貌,并测定了其粘附力值,同时,在考虑外加载荷和扫描速度的基础上考察了薄膜的摩擦特性.结果表明:DLC薄膜的表面粗糙度随基底负偏压的增加而减小,而粘附力却相反;DLC薄膜的摩擦系数取决于样品表面粘附力和粗糙度的大小.在扫描速度较小时,由于针尖和样品之间的粘滑作用,摩擦力随探针扫描速度的增加而增大;而当扫描速度较大时,由于DLC薄膜发生相结构转变的缘故,摩擦力却与扫描速度成反比关系.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	丁建宁	江苏大学微纳米技术研究中心	146	769	14.0	19.0
2	范真	江苏大学微纳米技术研究中心	61	532	11.0	20.0
3	解国新	江苏大学微纳米技术研究中心	12	37	4.0	5.0