高灵敏高线性度区熔硅光晶体管的研究

• 作者: 孙彩明 宁宝俊 张录 张海君 张秀荣 杨茹 盛丽艳 闫凤章 韩德俊
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 光晶体管 区熔硅 灵敏度 线性度
• 年，卷（期）: 2006,（z1）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 223-226
• 页数: 4页
• 分类号: TN312+.4
• 字数: 1817字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2006.z1.057

摘要

报道了一种基于高纯区熔单晶硅和发射结-集电结接近穿通状态的光晶体管的实验结果.在穿通电压附近(40V),0.83μm波长的光入射及0.15nW入射光功率条件下,器件的响应度为38A/W;工作在发射结-集电结接近穿通状态时线性度最好,在0.15～1500 nW光功率(4个数量级)范围内,线性因子为0.9954,接近于Hamamatsu S1227-1010BQ光电二极管在同一光功率区间内的线性因子(0.9982).另外,这种光晶体管的增益在130左右且增益的起伏在1%以内时,偏压的变化允许在2.5%以内(40V±1V),温度的变化可允许±2℃.其增益对偏压及温度的稳定性优于线性模式下具有相近增益的雪崩光电二极管.