多孔硅在太阳能电池应用中的相关研究

• 作者: 卢景霄 吴芳 张丽伟 张宇翔 王子健 王海燕 靳瑞敏
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 氧钝化 快速热处理(RTP) 快速热氧化(RTO) 减反膜
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 页码范围: 1075-1079
• 页数: 5页
• 分类号: O475
• 字数: 3160字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2006.05.034

摘要

本文用化学腐蚀法在多晶硅基片上制作多孔硅,通过SEM、XPS对多孔硅的表面微结构及其组成进行了研究,定性地分析了氧在多孔硅层中的作用及主要热行为.分析了多孔硅用于太阳能电池时应注意的问题:多孔层微孔尺寸、太阳电池工艺中各热处理过程的温度和时间、多孔层与电极材料是否形成欧姆接触及快速热氧化(RTO)的钝化效果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王海燕	郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室	62	372	11.0	16.0
2	卢景霄	郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室	100	570	12.0	17.0
3	张宇翔	郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室	45	274	10.0	14.0
4	王子健	郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室	5	22	2.0	4.0
5	吴芳	郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室	8	48	3.0	6.0
6	靳瑞敏	郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室	13	55	4.0	7.0