三维微触觉MEMS传感器测试校准的方法与系统

• 作者: 傅星 李源 栗大超 胡小唐 赵大博
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 坐标测量机 纳米定位 微触觉传感器 测试 校准
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 测试、检测与控制
• 页码范围: 1504-1508
• 页数: 5页
• 分类号: TP2
• 字数: 2626字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.051

摘要

针对微纳测量领域的需要,设计了一种三维微触觉MEMS传感器.为了标定该传感器的性能参数,提出了以高精度纳米测量机(NMM)为核心的测试校准方法;加工了NMM测头模块;制作了压阻信号调理和采集电路;搭建了测试校准系统.该系统具有移动范围大,精度高,更换方便,易于控制和记录数据等特点.利用它对传感器在Z轴方向的输出作校准,结果证实校准曲线线性良好,传感器在三个方向上耦合很小,其Z方向测量分辨力能够达到30 nm,迟滞性小于±0.05%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李源	天津大学测试技术及仪器国家重点实验室	13	121	6.0	11.0
2	胡小唐	天津大学测试技术及仪器国家重点实验室	205	1913	21.0	33.0
3	栗大超	天津大学测试技术及仪器国家重点实验室	89	722	14.0	20.0
4	傅星	天津大学测试技术及仪器国家重点实验室	107	753	14.0	20.0
5	赵大博	天津大学测试技术及仪器国家重点实验室	5	39	5.0	5.0