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摘要:
本文以ZnO:Al(ZAO)陶瓷为靶材,采用孪生对靶直流磁控溅射工艺在玻璃衬底上制备出高质量的铝掺杂氧化锌透明导电膜,研究了该薄膜的结构、光电及力学特性.采用孪生对靶制备ZAO薄膜可使样品避开等离子体直接轰击,减少基底薄膜的损伤.制备的薄膜具有结晶程度高、电阻率低、迁移率高等优点.ZAO薄膜的最低电阻率达到了4.47×10-4Ω·cm,在可见光区的平均透过率达到85%以上,非常适合做为铜铟硒(CIS)薄膜太阳电池窗口层.
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结晶性
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关键词云
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文献信息
篇名 孪生对靶直流磁控溅射制备ZnO:Al薄膜及其特性研究
来源期刊 人工晶体学报 学科 工学
关键词 孪生对靶 磁控溅射 ZnO:Al
年,卷(期) 2006,(4) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 761-764,815
页数 5页 分类号 TM615
字数 2117字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1000-985X.2006.04.021
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 何青 南开大学光电子薄膜器件与技术研究所 40 365 11.0 18.0
2 李凤岩 南开大学光电子薄膜器件与技术研究所 16 135 6.0 11.0
3 孙云 3 20 2.0 3.0
4 刘芳芳 2 18 2.0 2.0
5 李微 南开大学光电子薄膜器件与技术研究所 1 16 1.0 1.0
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研究主题发展历程
节点文献
孪生对靶
磁控溅射
ZnO:Al
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
人工晶体学报
月刊
1000-985X
11-2637/O7
16开
北京朝阳区红松园1号中材人工晶体研究院,北京733信箱
1972
chi
出版文献量(篇)
7423
总下载数(次)
16
总被引数(次)
38029
相关基金
国家高技术研究发展计划(863计划)
英文译名:The National High Technology Research and Development Program of China
官方网址:http://www.863.org.cn
项目类型:重点项目
学科类型:信息技术
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