聚酰亚胺悬臂MOEMS电磁光开关的优化设计

• 作者: 侯凤杰 孔庆峰 孙德贵 李佳 梁静秋 钟砚超
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 光开关 电磁驱动 悬臂梁 聚酰亚胺
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 光微纳器件
• 页码范围: 1735-1738,1743
• 页数: 5页
• 分类号: TM5
• 字数: 3917字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.112

摘要

利用聚酰亚胺(PI)优良的机械、绝缘、耐热等性能,设计出基于PI膜的磁控光开关.给出合理的线圈宽度与间隙宽度,提出了八边形的线圈绕组结构,计算得出PI膜悬臂梁光开关驱动电压与工作距离的关系,并对悬臂梁长度、宽度、厚度进行优化.在驱动电压为2V时,自由端位移达到2mm.