硅基TPMS集成传感器研究

• 作者: 刘兵武 刘理天 张兆华 张艳红 林惠旺 谭智敏
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: TPMS 压力传感器 温度传感器 压阻效应 应力分布
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 微型压力传感器
• 页码范围: 1815-1817
• 页数: 3页
• 分类号: TP2
• 字数: 1814字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.134

摘要

本文介绍了一种应用于轮胎压力监测系统(TPMS)的传感器芯片的设计与制作.该传感器芯片集成了压阻式压力传感器和单电阻结构的温度传感器,根据量程需要,硅杯膜的厚度与面积比比较大,所以高应力区向膜外扩展,通过改变桥臂电阻的摆放位置和形状,提高了传感器的灵敏度,并且通过采取高浓度注入电阻拐角区域,得到了较好的零点输出.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘理天	清华大学微电子学研究所	230	1519	19.0	23.0
2	张兆华	清华大学微电子学研究所	21	150	8.0	11.0
3	张艳红	清华大学微电子学研究所	7	60	5.0	7.0
4	刘兵武	清华大学微电子学研究所	4	34	4.0	4.0
5	谭智敏		1	6	1.0	1.0
6	林惠旺		1	6	1.0	1.0