影响集成电感性能的关键因素

• 作者: 姚飞 成步文 王启明
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 螺旋电感 品质因子 磁通量 衬底损耗 金属损耗
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 页码范围: 105-109
• 页数: 5页
• 分类号: TN43
• 字数: 2659字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2006.01.030

摘要

片上集成电感是单片集成射频电路、微波电路及光电集成电路中不可缺少的重要元件.高Q值的片上集成电感是IC工作者追求的目标.衬底损耗和金属损耗一直被认为是限制集成电感品质的主要因素.文中实例为证,在尽量消除衬底损耗和减小金属损耗条件下,得出它们并不是片上集成电感的决定性限制因素.本文从电感的定义出发,得出电感螺旋线之间磁通量的相互抵消是集成电感不能获得高Q值的决定因素.并通过螺旋电感的模拟计算和结合已有的实验,对此论点进行了论证.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王启明	中国科学院半导体研究所集成光电子国家重点实验室	118	735	14.0	20.0
2	成步文	中国科学院半导体研究所集成光电子国家重点实验室	41	185	8.0	10.0
3	姚飞	中国科学院半导体研究所集成光电子国家重点实验室	16	70	6.0	7.0