微纳加工技术在超微电极制备中的应用

• 作者: 朱明智 蒋庄德
• 来源期刊: 分析化学
• 学科: 化学
• 关键词: 超微电极制备 微纳加工技术 单超微电极 超微电极阵列 评述
• 年，卷（期）: 2006,（12）
• 所属期刊栏目: 评述与进展
• 页码范围: 1794-1800
• 页数: 7页
• 分类号: O6
• 字数: 6296字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-3820.2006.12.031

摘要

从电极材料、绝缘材料、薄膜的图形化等方面,评述了微纳加工技术在单超微电极和超微电极阵列制备中的应用.在单超微电极的制备中,随着微纳加工技术的引入,可以实现具有规则几何形状和微小电极尖端的单超微电极的重复性制备.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋庄德	西安交通大学精密工程研究所	165	1512	18.0	28.0
3	朱明智	西安交通大学精密工程研究所	14	82	5.0	8.0