TPMS硅基压阻式压力传感器的研制

• 作者: 刘兵武 刘理天 张兆华 张艳红 林惠旺 谭智敏
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 压阻式压力传感器 灵敏度 线性度 TPMS
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 微型压力传感器
• 页码范围: 1822-1825
• 页数: 4页
• 分类号: TP2
• 字数: 2708字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.136

摘要

:轮胎压力监测系统(TPMS)对压力传感器越来越大的市场需求使得这类传感器再次成为一个研究热点.商业领域对新一代压力传感器的要求是小尺寸、高性能、低价格,针对在30 μm厚度的硅杯方形薄膜上采用新型折线形状和位置的压敏电阻,设计并制作了一系列压阻式压力传感器.分析和讨论了膜的面积、电阻形状和位置等参数对压力传感器的灵敏度和线性度的影响.测试得到1000 kPa量程下边长为370μm的压力传感器灵敏度和线性度分别为15.5 mV/V·FS、0.012%/FS;边长为470μm的传感器的灵敏度和线性度分别为32.2 mV/V·FS、0.078%/FS,满足TPMS应用标准.这种器件体积小、成品率高,灵敏度和线性度均得到提高,也可用于医学、航空等其他领域.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘理天	清华大学微电子学研究所	230	1519	19.0	23.0
2	张兆华	清华大学微电子学研究所	21	150	8.0	11.0
3	谭智敏	清华大学微电子学研究所	18	114	7.0	9.0
4	张艳红	清华大学微电子学研究所	7	60	5.0	7.0
5	林惠旺	清华大学微电子学研究所	18	150	8.0	11.0
6	刘兵武	清华大学微电子学研究所	4	34	4.0	4.0