衬底同步加热溅射BST薄膜的研究

• 作者: 卓敏 张龙 朱健 林立强
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 同步衬底加热 射频磁控溅射 钛酸锶钡薄膜 居里温度
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: RF微纳器件与技术
• 页码范围: 1904-1906,1910
• 页数: 4页
• 分类号: TN3
• 字数: 2163字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.158

摘要

介绍了一种衬底同步加热射频磁控溅射制备BST(BaxSr1-xTiO3)薄膜的新方法,讨论了BST薄膜的晶化效果对介电常数的影响,分析了薄膜的居里温度和εr-V铁电性能.XRD测试结果表明制备的BST薄膜具有完整的钙钛矿晶体结构,相对介电常数超过150,介质击穿强度大于1.3 MV/cm.使用这种方法不需要专门的退火工艺,就可以制备晶体结构完整的高介电常数BST薄膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱健		43	318	11.0	16.0
2	林立强		4	34	3.0	4.0
3	张龙		7	66	4.0	7.0
4	卓敏		4	34	3.0	4.0