原型装置终端光学组件真空隔离结构设计

• 作者: 刘佩兰 向勇 唐灿 张建波 张林 徐旭 晓东 熊迁 程晓锋 蒋晓东 高东
• 来源期刊: 中国工程物理研究院科技年报
• 学科: 工学
• 关键词: 光学组件 原型装置 高真空 结构设计 终端 挥发有机物 挥发性有机物 常温常压
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 页码范围: 295
• 页数: 1页
• 分类号: TS223.6

摘要

在原型装置磨合实验的实际考核过程中，发现终端光学组件内存在严重的油污染，致使化学膜在短时间内严重褪化。油污染的来源包括两个方面，一是终端光学组件内机械件表面及亚表面残留可挥发有机物，另一个来源是真空靶球表面及亚表面残留可挥发性有机物，这些有机物在常温常压下表现出较好的稳定性，但在高温或高真空下则挥发速度大大加快。