数值分析渐变DBR对垂直腔面发射激光器谐振腔模的影响

• 作者: 何国荣 吴旭明 曹玉莲 王小东 王青 谭满清
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 垂直腔面发射激光器 DBR 反射谱 反射相移 特征矩阵法
• 年，卷（期）: 2006,（11）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 2011-2014
• 页数: 4页
• 分类号: TN248
• 字数: 2383字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2006.11.024

摘要

通过数值分析研究了含线性渐变层的Al0.9Ga0.1As/AlyGa1-yAs/GaAs/AlxGa1-xAS DBR的光学特性及其对VCSEL谐振腔光学特性的影响,建立了渐变型DBR渐变层厚度与折射率的关系,通过特征矩阵法计算了突变GaAs/Al0.9Ga0.1AS DBR和渐变型DBR的反射谱和反射相移,分析了渐变层对DBR反射率和反射相移的影响.对渐变型DBR,要使VCSEL谐振腔满足中心波长相位匹配条件,还需要在DBR靠近谐振腔一侧的最前面增加一定厚度的渐变层,称为相位匹配层.通过计算,我们得到了使VCSEL谐振腔满足相位匹配条件时均匀层和相位匹配层的厚度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谭满清	中国科学院半导体研究所	24	136	8.0	10.0
2	王青	中国科学院半导体研究所	83	1420	20.0	35.0
3	曹玉莲	中国科学院半导体研究所	15	78	5.0	8.0
4	吴旭明	中国科学院半导体研究所	9	50	3.0	6.0
5	王小东	中国科学院半导体研究所	8	38	4.0	6.0
6	何国荣	中国科学院半导体研究所	10	50	3.0	6.0