表面镀铜悬浮厚单晶硅螺线MEMS电感

• 作者: 吴文刚 张少勇 李志宏 李轶 郝一龙 韩翔 黄风义
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS电感 悬浮螺线 表面镀铜 品质因子 建模与参数提取 射频
• 年，卷（期）: 2006,（4）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 662-666
• 页数: 5页
• 分类号: TN385
• 字数: 713字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2006.04.015

摘要

报道了一种由悬浮在玻璃衬底上的表面镀铜平面单晶硅螺线构成的新型MEMS电感,可消除衬底损耗及减小电阻损耗.采用一种硅玻璃键合-深刻蚀成型释放工艺并结合无电镀技术制作该电感,形成厚约40μm的硅螺线,在硅螺线表面镀有高保形厚铜镀层,在铜镀层表面镀有起钝化保护作用的薄镍镀层.该电感的自谐振频率超过15GHz,在11.3GHz下,品质因子达到约40,电感值超过5nH.基于该电感的简化等效电路模型,采用一种特征函数法进行了参数提取,模拟结果与测量结果符合得很好.