误差扩散法编码设计制作微光学元件

• 作者: 刘倩 刘波 唐雄贵 张怡霄 温圣林 郭永康
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微光学 灰阶编码掩模 误差扩散法 边缘增强法 微透镜
• 年，卷（期）: 2006,（6）
• 所属期刊栏目: 微光学
• 页码范围: 106-110
• 页数: 5页
• 分类号: O438|TN256
• 字数: 2466字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2006.06.025

摘要

以发展微光学元件制作新方法为目标,提出利用误差扩散编码方法设计灰阶编码掩模制作微光学元件.此方法同其他编码方法相比,具有量化效果好、衍射效率高、制作文件小、计算速度快、通用性好等优点.用此方法对制作微透镜的掩模进行了设计,利用预校正法和边缘增强法相结合的方法对掩模进行了优化,并对曝光、显影过程进行了模拟,得到了满意的结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭永康	四川大学物理学院	87	836	16.0	21.0
2	刘波	四川大学物理学院	71	531	12.0	21.0
3	刘倩	四川大学物理学院	52	218	9.0	13.0
5	唐雄贵	四川大学物理学院	21	174	7.0	12.0
6	张怡霄	四川大学物理学院	27	205	9.0	12.0
9	温圣林	四川大学物理学院	7	38	4.0	6.0