硅压阻式压力传感器非线性误差校正方法

• 作者: 徐大诚 杨成 王文襄 蒋小燕 谢维钦
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 压阻式压力传感器 信号调理 软件补偿
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 计算与测试
• 页码范围: 76-78,84
• 页数: 4页
• 分类号: TP212
• 字数: 2648字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2006.01.027

摘要

利用ZMD31020传感器信号处理器,实现了硅压阻式传感器的非线性及温度补偿.通过软件输入预先设定的数字量给ZMD31020处理器的存贮空间,可实现硅压阻式压力传感器(PRT)的零点输出、热零点漂移、满量程输出、热灵敏度漂移和非线性的高精度校准和补偿.传感器的输出精度达到了0.275 %.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐大诚	苏州大学电子信息学院	60	259	8.0	13.0
2	蒋小燕	苏州大学电子信息学院	2	27	2.0	2.0