台阶高度测量方法研究现状及进展

• 作者: 张书练 李岩 蒋天罡
• 来源期刊: 光学技术
• 学科: 工学
• 关键词: 可调合成波长链 台阶高度 可调谐半导体激光器
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 光学测量
• 页码范围: 111-114
• 页数: 4页
• 分类号: TG806|O436.1
• 字数: 4387字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1002-1582.2006.01.012

摘要

台阶高度测量是目前新提出的国际计量比对项目之一,当前的趋势是向纳米量级精度发展并尽量扩大测量范围.在分析现状和背景的基础上,大致归类了测量台阶高度的几种光学方法,着重介绍了其中绝对干涉方案的最新进展,从测量原理、测量精度以及量程等几方面比较了它们的优缺点.在此基础上提出以可调谐半导体激光器作为光源,采用可调合成波长链法实现纳米级精度毫米级量程的台阶高度测量,详细分析了方案的原理误差,得到最后的结论.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李岩	清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术与仪器国家重点实验室	75	955	17.0	28.0
2	张书练	清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术与仪器国家重点实验室	85	832	17.0	24.0
3	蒋天罡	清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术与仪器国家重点实验室	1	4	1.0	1.0