邻晶面外延生长机制的动力学Monte Carlo模拟

• 作者: 俞建国 戴宁 景为平 王力 王基庆 茅惠兵
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 外延生长模式 动力学Monte Carlo Ehrlich-Schwoebel势垒
• 年，卷（期）: 2006,（10）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:结构、热学和力学性质
• 页码范围: 5435-5440
• 页数: 6页
• 分类号: O4
• 字数: 5623字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2006.10.075

摘要

用动力学Monte Carlo模拟方法研究了GaAs(001)邻晶面的外延生长机制.Ehrlich-Schwoebel势垒对邻晶面外延机制有重要的影响.模拟结果显示,低温下Ehrlich-Schwoebel势垒几乎能完全阻止原子向下一台阶面的迁移,高温下原子已能有效地克服势垒的影响并向下一台阶面迁移.在外延生长初期,原子几乎在台阶面上均匀分布.当表面覆盖度达到一定数量后,台阶成核开始.而由于Ehrlich-Schwoebel势垒的存在,在台阶的上侧台阶面上开始有原子的积累,而如果没有Ehrlich-Schwoebel势垒,台阶上侧台阶面上的原子也能被有效地耗尽.Ehrlich-Schwoebel势垒对邻晶面上的外延生长模式有显著的影响,将明显提高达到台阶生长模式的温度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	景为平	南通大学江苏省专用集成电路设计重点实验室	55	267	9.0	13.0
2	戴宁	中国科学院红外物理国家实验室	55	315	11.0	15.0
3	茅惠兵	华东师范大学信息科学技术学院	12	117	6.0	10.0
5	王基庆	华东师范大学信息科学技术学院	9	37	3.0	6.0
8	俞建国	华东师范大学信息科学技术学院	4	9	1.0	3.0
9	王力	华东师范大学信息科学技术学院	4	12	3.0	3.0