用于大口径非球面的波前功率谱密度检测

• 作者: 伍凡 吴时彬 姚汉民 陈伟 陈强
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 功率谱密度 光学检测 大口径非球面 空间频率
• 年，卷（期）: 2006,（3）
• 所属期刊栏目: 先进光学制造技术
• 页码范围: 20-23
• 页数: 4页
• 分类号: TN247
• 字数: 1911字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2006.03.005

摘要

光学元件加工质量的检测和评价工作是保证整个光学系统安全、正常运行的关键.在总结非球面常用检验指标优、缺点的基础上,讨论了测量大口径非球面的波前功率谱密度时的系统组成、工作原理和软件设计的总体思路.为了减少系统误差的影响,求解波前功率谱密度时,通过引入系统传递函数校正测量值来实现.使用大口径相位干涉仪作为波前检测仪器,证实波前功率谱密度能定量给出波前畸变的空间频率分布,并用于作为大口径光学元件质量的评价标准.给出一个测试口径为64mm(64mm光学元件测试结果,有效频率为0.03mm-1～3.87mm-1,rms为0.0064λ.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴时彬	中国科学院光电技术研究所	52	587	16.0	22.0
2	伍凡	中国科学院光电技术研究所	79	917	19.0	25.0
3	陈伟	中国科学院光电技术研究所	252	3013	27.0	47.0
7	陈强	中国科学院光电技术研究所	80	815	18.0	25.0
8	姚汉民	中国科学院光电技术研究所	44	355	9.0	16.0