石英衬底上溅射制备纳米SiCN薄膜

• 作者: 张军 林洪峰 谢二庆 陈支勇 颜小琴
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 溅射 纳米SiCN 薄膜
• 年，卷（期）: 2006,（z1）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 124-126
• 页数: 3页
• 分类号: O484
• 字数: 1648字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2006.z1.030

摘要

利用射频溅射方法在石英玻璃上沉积了纳米结构硅碳氮(SiCN)薄膜.SiCN薄膜表面由平均直径约50nm的SiCN纳米颗粒组成,这些纳米颗粒的紧密分布构造了薄膜的致密表面.纳米SiCN薄膜呈现出典型的半导体导电特征.通过调整N2流量参数可以获得不同带隙的SiCN薄膜材料,这种带隙可调的纳米结构SiCN薄膜在未来的半导体光电器件应用领域会有广阔的应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谢二庆	兰州大学物理科学与技术学院	84	371	11.0	14.0
2	张军	兰州大学物理科学与技术学院	65	414	11.0	18.0
3	林洪峰	兰州大学物理科学与技术学院	9	79	5.0	8.0
4	颜小琴	兰州大学物理科学与技术学院	2	1	1.0	1.0
5	陈支勇	兰州大学物理科学与技术学院	2	1	1.0	1.0