MEMS器件的腐蚀与释放

• 作者: 李超波 欧毅 焦斌斌 石莎莉 陈大鹏
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: MEMS 牺牲层 腐蚀 释放 隔离槽
• 年，卷（期）: 2006,（z1）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 347-350
• 页数: 4页
• 分类号: O363.2
• 字数: 2455字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2006.z1.085

摘要

以硅微机械FP腔器件为代表,该器件采用了标准的硅表面加工工艺,分析了此类具有悬空结构的MEMS器件在进行牺牲层的腐蚀和最终的结构释放过程中的各种问题.根据所遇到问题的不同情况对器件的设计和工艺流程进行了改进,并通过实验验证了其可行性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	焦斌斌	中国科学院微电子研究所微细加工与纳米技术实验室	13	21	3.0	3.0
2	欧毅	中国科学院微电子研究所微细加工与纳米技术实验室	17	77	5.0	7.0
3	陈大鹏	中国科学院微电子研究所微细加工与纳米技术实验室	79	466	10.0	17.0
4	石莎莉	中国科学院微电子研究所微细加工与纳米技术实验室	5	29	3.0	5.0
5	李超波	中国科学院微电子研究所微细加工与纳米技术实验室	31	120	7.0	9.0