一种新的气囊式抛光方法的研究

• 作者: 张峰 杭凌侠 陈智利
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 气囊式抛光法 非球面加工 表面粗糙度
• 年，卷（期）: 2006,（10）
• 所属期刊栏目: 先进光学制造技术
• 页码范围: 121-124,131
• 页数: 5页
• 分类号: TQ171.6
• 字数: 3065字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2006.10.023

摘要

针对气囊式小磨头抛光方法的缺陷,提出了一种新的气囊式抛光方法.本文对该气囊式抛光法的原理和抛光气囊的结构、运动方式等进行了阐述.在此基础上,结合装置开展了实验,给出了去除量、压力、粗糙度与时间的关系.研究结果表明,利用该气囊式抛光方法对非球面光学零件进行抛光,效果良好,表面粗糙度可达2nm,该方法能满足中高等精度的加工要求;该方法适合平面、球面、非球面、甚至任意曲面的抛光.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杭凌侠	西安工业大学光电学院	93	777	15.0	22.0
2	张峰	西安工业大学光电学院	56	361	9.0	16.0
3	陈智利	西安工业大学光电学院	46	203	8.0	11.0