衬底结构特征对硅基螺旋电感性能的影响

• 作者: 姚飞 成步文 王启明 薛春来
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 硅基 螺旋电感 品质因子 衬底结构
• 年，卷（期）: 2006,（11）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1955-1960
• 页数: 6页
• 分类号: TN405
• 字数: 4167字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2006.11.013

摘要

使用三维电磁场模拟的方法对不同硅衬底结构螺旋电感进行了模拟和分析.通过改变衬底的电导率、隔离层的厚度以及隔离层的材料、衬底引入硅锗合金层等模拟,分析了电感性能的变化.结果表明随着电导率的减小,电感的性能会增强,但改善的幅度会逐渐减小.厚的SiO2隔离层有利于减小衬底损耗,但是会给工艺增加难度.采用低k材料作为隔离层是改善电感性能的一种比较理想的方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王启明	中国科学院半导体研究所集成光电子国家重点联合实验室	118	735	14.0	20.0
2	成步文	中国科学院半导体研究所集成光电子国家重点联合实验室	41	185	8.0	10.0
3	姚飞	中国科学院半导体研究所集成光电子国家重点联合实验室	16	70	6.0	7.0
4	薛春来	中国科学院半导体研究所集成光电子国家重点联合实验室	24	77	6.0	7.0