基于0.25μm MS/RF CMOS工艺的光电单片集成接收机设计

• 作者: 毛陆虹 陈弘达 高鹏 黄家乐
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 单片集成 光电集成电路 CMOS工艺
• 年，卷（期）: 2006,（2）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 323-327
• 页数: 5页
• 分类号: TN303
• 字数: 886字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2006.02.024

摘要

设计了一种单片集成的光电接收机芯片.在同一衬底上制作了基于同一工艺的光电二极管与接收机电路,以消除混合集成引入的寄生影响.这种单片集成接收机采用了先进的深亚微米MS/RF(混合信号/射频)CMOS工艺,利用这种新型工艺提供的新技术对原有光电二极管进行了改进,使其部分性能显著改善,并对整个光电集成芯片性能的提高有所帮助.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	毛陆虹	天津大学电子信息工程学院	165	736	12.0	20.0
2	高鹏	中国科学院半导体研究所集成光电子国家重点联合实验室	102	956	15.0	27.0
3	陈弘达	中国科学院半导体研究所集成光电子国家重点联合实验室	82	341	10.0	13.0
4	黄家乐	天津大学电子信息工程学院	4	13	2.0	3.0