甚长波量子阱红外探测器光耦合性能

• 作者: 于绍欣 何瑜环 侯颖 周均铭 朱自强 李宁 林剑锋 熊大元 郭方敏 陆卫 黄绮
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 量子阱红外探测器 光耦合 2D光栅 响应率 探测率
• 年，卷（期）: 2006,（6）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1109-1114
• 页数: 6页
• 分类号: TN215
• 字数: 3899字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2006.06.032

摘要

从实验、测试和计算结果出发,运用有限时域差分法(FDTD)和传统的模式扩展(MEM)理论,研究甚长波量子阱红外探测器(QWIP)几种衍射光耦合的表面近场效应和光耦合效率,重点考察QWIP 45°面边耦合、光栅耦合QWIP结构、光栅尺寸、工艺条件的变化对QWIP相关性能的影响.实验与计算结果证明,合理地设计二维光栅,进行甚长波QWIP光耦合,可以获得有效的光耦合效果.