Pt(111)表面低能溅射现象的分子动力学模拟

• 作者: 吕海峰 张庆瑜 张超 颜超
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 分子动力学模拟 低能溅射
• 年，卷（期）: 2006,（3）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:结构、热学和力学性质
• 页码范围: 1351-1357
• 页数: 7页
• 分类号: O53
• 字数: 4309字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2006.03.059

摘要

利用嵌入原子方法的原子间相互作用势,通过分子动力学模拟,详细研究了贵金属原子在Pt (111)表面的低能溅射现象.模拟结果显示:对于垂直入射情况,入射原子的质量对Pt (111)表面的溅射阈值影响不大.当入射原子的能量小于溅射阈值时,入射原子基本以沉积为主;当入射原子的能量大于溅射阈值时,溅射产额随入射原子能量的增加而线性增大;当入射原子能量达到200 eV时,各种入射原子的溅射产额都达到或接近1,此时入射原子主要起溅射作用.溅射原子发射的角分布概率和溅射花样与高能溅射相类似.研究表明:与基于二体碰撞近似的线性级联溅射理论不同,当入射原子能量大于溅射阈值时,低能入射原子的溅射产额正比于入射原子的约化能量和入射原子与基体原子的质量比.通过对低能入射原子的钉扎能力分析,提出了支配低能溅射的入射原子反射物理机理.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张庆瑜	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	92	897	16.0	25.0
2	张超	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	28	72	5.0	6.0
3	吕海峰	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	2	13	2.0	2.0
4	颜超	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	7	13	2.0	3.0