生长温度对ZnO薄膜性能的影响

• 作者: 戴江南 方文卿 李璠 江风益 王立 苏宏波 蒲勇
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: ZnO MOCVD X射线双晶衍射 光致发光 应变
• 年，卷（期）: 2006,（7）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1221-1224
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.2+2
• 字数: 1992字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2006.07.013

摘要

采用常压金属有机化学气相沉积技术在Al2O3(0001)衬底上生长出高质量的ZnO薄膜.用X射线双晶衍射ω和θ-2θ扫描、室温光致发光研究了不同生长温度对ZnO薄膜的结构、发光性能的影响.结果表明,随着生长温度的升高,ZnO薄膜的c轴晶格常数逐渐增大,a轴晶格常数逐渐变小,同时带隙相应逐渐增大.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	方文卿	南昌大学教育部发光材料与器件工程研究中心	23	200	8.0	13.0
2	王立	南昌大学教育部发光材料与器件工程研究中心	48	324	10.0	14.0
3	江风益	南昌大学教育部发光材料与器件工程研究中心	60	527	12.0	19.0
4	戴江南	南昌大学教育部发光材料与器件工程研究中心	10	86	5.0	9.0
5	蒲勇	南昌大学教育部发光材料与器件工程研究中心	15	108	6.0	10.0
6	李璠	南昌大学教育部发光材料与器件工程研究中心	15	100	5.0	9.0
7	苏宏波	南昌大学教育部发光材料与器件工程研究中心	2	30	2.0	2.0