基于共振隧穿二极管的GaAs基压力传感器研制

• 作者: 仝召民 张文栋 张斌珍 熊继军 王建 薛晨阳
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 共振隧穿二极管 GaAs 压力传感器 控制孔工艺
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 微型压力传感器
• 页码范围: 1844-1846,1851
• 页数: 4页
• 分类号: TP2
• 字数: 1761字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.142

摘要

为了突破传统的机电转换效应的宏观物理局限,为更高灵敏度、更低功耗的微/纳机电压力传感器的设计提供理论、工艺及实验依据,首次设计并利用微机械控制孔技术加工制作了基于AlAs/InxGa1-xAs/GaAs共振隧穿二极管(RTD)的GaAs基薄膜压力传感器,实现了RTD工艺与微机械加工技术的工艺集成.测试结果表明:该压力传感器的线性灵敏度达到0.1 mV/kPa.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张文栋	中北大学电子测试技术国家重点实验室	167	1172	16.0	26.0
2	王建	中北大学电子测试技术国家重点实验室	7	40	4.0	6.0
3	薛晨阳	中北大学电子测试技术国家重点实验室	136	765	14.0	21.0
4	熊继军	中北大学电子测试技术国家重点实验室	111	702	13.0	19.0
5	张斌珍	中北大学电子测试技术国家重点实验室	107	535	12.0	18.0
6	仝召民	中北大学电子测试技术国家重点实验室	7	22	2.0	4.0