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摘要:
为了突破传统的机电转换效应的宏观物理局限,为更高灵敏度、更低功耗的微/纳机电压力传感器的设计提供理论、工艺及实验依据,首次设计并利用微机械控制孔技术加工制作了基于AlAs/InxGa1-xAs/GaAs共振隧穿二极管(RTD)的GaAs基薄膜压力传感器,实现了RTD工艺与微机械加工技术的工艺集成.测试结果表明:该压力传感器的线性灵敏度达到0.1 mV/kPa.
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文献信息
篇名 基于共振隧穿二极管的GaAs基压力传感器研制
来源期刊 传感技术学报 学科 工学
关键词 共振隧穿二极管 GaAs 压力传感器 控制孔工艺
年,卷(期) 2006,(5) 所属期刊栏目 微型压力传感器
研究方向 页码范围 1844-1846,1851
页数 4页 分类号 TP2
字数 1761字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.142
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 张文栋 中北大学电子测试技术国家重点实验室 167 1172 16.0 26.0
2 王建 中北大学电子测试技术国家重点实验室 7 40 4.0 6.0
3 薛晨阳 中北大学电子测试技术国家重点实验室 136 765 14.0 21.0
4 熊继军 中北大学电子测试技术国家重点实验室 111 702 13.0 19.0
5 张斌珍 中北大学电子测试技术国家重点实验室 107 535 12.0 18.0
6 仝召民 中北大学电子测试技术国家重点实验室 7 22 2.0 4.0
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研究主题发展历程
节点文献
共振隧穿二极管
GaAs
压力传感器
控制孔工艺
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
传感技术学报
月刊
1004-1699
32-1322/TN
大16开
南京市四牌楼2号东南大学
1988
chi
出版文献量(篇)
6772
总下载数(次)
23
总被引数(次)
65542
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:the National Natural Science Foundation of China
官方网址:http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:数理科学
论文1v1指导