遮光罩和挡光环程序化设计的原理及实现

• 作者: 邢廷文 黄智强
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 杂散光 遮光罩 挡光环 程序设计
• 年，卷（期）: 2006,（4）
• 所属期刊栏目: 光学设计
• 页码范围: 119-123
• 页数: 5页
• 分类号: TB851
• 字数: 1814字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2006.04.028

摘要

阐述了消杂光的遮光罩和挡光环的设计原理和思想,并基于自行推导的设计公式,提出利用程序计算来实现遮光罩-挡光环四种不同组合(圆柱状且挡光环等高布置、圆柱状且挡光环梯度布置、锥状且挡光环等高布置和锥状且挡光环梯度布置的遮光罩)的设计思想,并给出了设计实例以验证设计公式程序的正确性(与手工计算相比).结果表明,在任意给定的挡光环个数和高度范围内,通过该设计程序可获得一系列遮光罩的长度和内径参数,再通过杂光仿真软件模拟,根据PST值可确定遮光罩的最佳参数.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邢廷文	中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室	67	501	11.0	17.0
2	黄智强	中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室	5	62	3.0	5.0