接触式悬臂梁RF-MEMS开关的研制与数值模拟分析

• 作者: 孙建海 崔大付 肖疆
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 悬臂梁RF-MEMS开关 插入损耗 隔离度
• 年，卷（期）: 2006,（2）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 309-312
• 页数: 4页
• 分类号: TM564
• 字数: 932字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2006.02.021

摘要

研究了一种直接接触悬臂梁式RF-MEMS开关,悬臂梁采用Al金属材料.开关通过静电控制,且与信号通道分离.为了优化材料结构和获得好的性能,进行了有限元ANSYS模拟.采用表面微加工工艺来制作开关,获得满意结果.器件的驱动电压为12V,与ANSYS模拟结果11V基本相符;器件的隔离度,在0.05～10GHz的范围内,实验测试与HFSS模拟的结果基本一致,都优于-20dB;器件的插入损耗,HFSS模拟小于-0.2dB,而实验测试小于-0.9dB,偏高是由于悬臂梁表面不平,导致接触电阻增大,在测试中引入接触阻抗所致.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	崔大付	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	77	974	17.0	27.0
2	孙建海	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	20	82	6.0	8.0
3	肖疆	中国科学院电子学研究所微波成像技术国家重点实验室	8	49	4.0	6.0