新型高灵敏度低功耗的磁场传感器设计与模拟

• 作者: 刘玉菲 吴亚明 王跃林 赵本刚
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: MOEMS技术 磁场传感器 扭转微镜面 双光纤准直器
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 磁微纳器件与技术
• 页码范围: 2068-2071
• 页数: 4页
• 分类号: TP2
• 字数: 2232字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.200

摘要

提出了一种用于微弱磁场检测的新型MOEMS磁场传感器结构,包括MEMS微扭转敏感结构、磁性敏感薄膜和光学检测部分.文中分析了器件的磁敏感原理和光学检出原理,给出了器件的结构参数、模态分析和综合设计考虑,并利用Matlab进行了解析计算,通过ANSYS进行了模拟仿真分析.分析结果表明:通过双光纤准直器和光电探测器监测微扭转镜面的扭转,该器件可以实现60nT的磁场探测,其探测灵敏度可以达到0.6dB/μT.