一种基于光学倍乘原理的绝对距离干涉测量系统

• 作者: 李达成 杨天博 郭宏
• 来源期刊: 光学技术
• 学科: 文学
• 关键词: 光学倍乘 零光程差 绝对距离测量 相干性
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 光学测量
• 页码范围: 39-41,46
• 页数: 4页
• 分类号: H741.1
• 字数: 4123字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1002-1582.2006.01.005

摘要

介绍了一个基于光学倍乘原理的绝对距离干涉测量系统.系统包括两个干涉仪:采用半导体激光器作为光源的定位干涉仪和测量位移的外差干涉仪.介绍了光源的选择,系统的设计以及信号的采集和处理方案.采用这套绝对测量系统,可以实现长度为2m以内的绝对距离测量,定位精度可以达到±0.5μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李达成	清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	43	658	15.0	24.0
2	郭宏	清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	29	186	7.0	12.0
3	杨天博	清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	3	64	3.0	3.0