基于BP神经网络的SU-8光刻胶工艺参数优选研究

• 作者: 明平美 曾永彬 朱荻 胡洋洋
• 来源期刊: 机械科学与技术
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS SU-8 正交试验 BP神经网络 优化
• 年，卷（期）: 2006,（9）
• 页码范围: 1082-1084,1116
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 2778字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1003-8728.2006.09.021

摘要

SU-8是一种性能优异的厚胶,广泛应用于高深宽比的MEMS微结构中.本文首先用正交试验研究了前烘时间、曝光剂量、后烘时间以及显影时间对SU-8光刻胶图形尺寸精度的影响,得到了优化的工艺组合.在此基础上,运用BP神经网络对试验数据进行分析处理,预测了较正交试验分析结果更为优化的工艺组合,并用试验验证了其正确性.结果表明,经正交试验数据训练过的BP神经网络,很好地映射了工艺参数与优化指标之间的复杂非线性关系,此时应用BP神经网络对工艺参数进行优选研究能够得到更全面、准确的结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱荻	南京航空航天大学机电学院	237	3580	30.0	43.0
2	曾永彬	南京航空航天大学机电学院	54	480	14.0	18.0
3	明平美	南京航空航天大学机电学院	17	404	12.0	17.0
4	胡洋洋	南京航空航天大学机电学院	16	221	9.0	14.0