计入空气阻尼的MEMS微谐振器非线性动力学研究

• 作者: 于茂华 张效翔 王小静 王敏 谢明春 高嵘
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 空气阻尼力 非线性动力学 微谐振器 MEMS
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 微纳设计
• 页码范围: 1354-1357
• 页数: 4页
• 分类号: TP2
• 字数: 2872字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.011

摘要

针对横向振动MEMS微谐振器,计入非线性空气阻尼力,对微谐振器非线性动力学特性进行研究.建立微谐振器非线性动力学模型,计入滑移边界条件和稀薄气体效应,利用FLUENT和MATLAB对Navier-Stokes方程和动力学方程进行求解.经过与国外实验对比,可得出考虑非线性阻尼力的平板振幅值非常接近实验值,振幅峰-峰值误差仅为6%,且优于线性动力学的分析结果.为MEMS器件非线性动力学特性分析提供理论依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王小静	上海大学机电工程与自动化学院	50	428	12.0	19.0
2	谢明春	上海大学机电工程与自动化学院	4	22	2.0	4.0
3	高嵘	上海大学机电工程与自动化学院	2	14	1.0	2.0
4	于茂华	上海大学机电工程与自动化学院	3	15	1.0	3.0
5	王敏	上海大学机电工程与自动化学院	29	100	7.0	9.0
6	张效翔	上海大学机电工程与自动化学院	1	14	1.0	1.0