三乙醇胺和EDTA·2Na盐双络合体系快速化学镀铜T艺研究

• 作者: 李春华 邹伟红 郑雅杰
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 化学
• 关键词: 化学镀铜 镀速 三乙醇胺 添加剂
• 年，卷（期）: 2006,（10）
• 所属期刊栏目: 材料研究
• 页码范围: 159-162
• 页数: 4页
• 分类号: O6
• 字数: 3914字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-023X.2006.10.042

摘要

系统研究了以三乙醇胺(TEA)为主络合剂、EDTA·2Na盐为辅络合剂的二次镀铜体系.实验结果表明镀速随EDTA·2Na盐浓度增加而减慢,随TEA浓度、硫酸铜浓度、甲醛浓度、溶液pH值和镀液温?快;添加剂亚铁氰化钾、α.α′-联吡啶和2-MBT均能使镀速减慢且浓度较低时均能使镀层外观变好;PEG-1000对镀速影响较小,但能使镀层质量变好.其二次化学镀铜最佳条件是:CuSO4·5H2O为16g/L,EDTA·2Na盐为6g/L,TEA为21.5g/L,pH值为12.75,甲醛(37%～40%)为16ml/L,亚铁氰化钾为100mg/L,α,α′-联吡啶为20mg/L,PEG-1000为1g/L,2-MBT为0.5mg/L及镀液温度为50℃.在最佳条件下镀速达到10.57μm/h,SEM分析镀层表面光滑、结晶均匀.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李春华	中南大学冶金科学与工程学院	11	195	6.0	11.0
3	郑雅杰	中南大学冶金科学与工程学院	128	1596	21.0	31.0
4	邹伟红	中南大学冶金科学与工程学院	4	91	3.0	4.0