SOI光波导高速电光调制器的研究进展

• 作者: 余金中 黄庆忠
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: SOI 单模条件 传输损耗 偏振相关 耦合效率 电光调制器
• 年，卷（期）: 2006,（12）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 2069-2074
• 页数: 6页
• 分类号: TN252|TN256
• 字数: 4089字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2006.12.001

摘要

介绍了不同截面大小的SOI(silicon-on-insulator)波导单模条件,详细描述了几种降低传输损耗,消除偏振相关,提高耦合效率的技术手段.分析比较了一种带有MOS(metal-oxide-semiconductor)电容结构和一种具有微环结构的高速电光调制器,其调制频率分别达到10和1.5GHz.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	余金中	中国科学院半导体研究所集成光电子国家重点联合实验室	110	703	13.0	21.0
2	黄庆忠	中国科学院半导体研究所集成光电子国家重点联合实验室	2	6	1.0	2.0