125mm彩色AMOLED的多晶硅TFT基板

• 作者: 吴春亚 孟志国 熊绍珍 王文 郭海成
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 大晶粒 碟型多晶硅 薄膜晶体管 有机发光像素电路 有源选址矩阵
• 年，卷（期）: 2006,（8）
• 所属期刊栏目: 技术进展
• 页码范围: 1514-1518
• 页数: 5页
• 分类号: TN321+.5
• 字数: 2904字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2006.08.035

摘要

用化学法在非晶硅表面形成Ni源,经金属诱导晶化(MIC)得到了大晶粒碟型多晶硅.为改善以此材料作有源层的多晶硅TFT的漏电特性和均匀性,采用动态杂质吸除方法对MIC 过程所残留的Ni进行了吸除.通过流程简化,采用6块版工艺,研制出125mm QVGA有源选址有机发光显示的多晶硅TFT选址矩阵基板.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭海成	香港科技大学电机与电子工程系	39	191	7.0	11.0
2	王文	香港科技大学电机与电子工程系	16	97	5.0	9.0