表面微加工MEMS器件工艺模型可制造性评价

• 作者: 刘玉生 李建华 高曙明
• 来源期刊: 浙江大学学报(工学版)
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 计算机辅助设计 工艺层模型 可制造性评价 表面微加工
• 年，卷（期）: 2006,（10）
• 所属期刊栏目: 自动化技术、计算机技术
• 页码范围: 1669-1674,1681
• 页数: 7页
• 分类号: TP391.7
• 字数: 6416字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3785/j.issn.1008-973X.2006.10.003

摘要

针对基于实体模型生成的微电机系统(MEMS)器件工艺层模型难以完全保证可制造性的问题,结合标准的表面微加工工艺,从可释放性、上下可结合性和腐蚀可制造性等方面分析了产生可制造问题的原因,并给出了可制造性评价方法.基于可制造性评价结果,进一步提出了一种生成改进建议的方法.实例分析表明,所提出的工艺层模型可制造性评价方法提高了MEMS器件的可制造性评价质量与效率,并使得设计人员能够更早地发现与更改设计中存在的可制造性问题.