基于漏区边界曲率分析的射频RESURF LDMOS耐压与导通电阻优化

• 作者: 冯辉 方粮 池雅庆 郝跃
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: LDMOS RESURF 漏区边界曲率半径 击穿电压 导通电阻
• 年，卷（期）: 2006,（10）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1818-1822
• 页数: 5页
• 分类号: TN386
• 字数: 3461字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2006.10.024

摘要

分析了漏区边界曲率半径与射频RESURF LDMOS击穿电压的关系,指出漏区边界的弯曲对RESURF技术的效果具有强化作用.理论分析与模拟结果表明,满足RESURF条件时,提高漂移区掺杂浓度或掺杂深度的同时相应减小漏区边界的曲率半径,可以在维持击穿电压不变的前提下,明显降低导通电阻.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郝跃	西安电子科技大学微电子学院宽禁带半导体材料与器件教育部重点实验室	312	1866	17.0	25.0
2	冯辉	西安电子科技大学微电子学院宽禁带半导体材料与器件教育部重点实验室	10	70	6.0	8.0
3	池雅庆	国防科技大学计算机学院微电子研究所	8	12	2.0	3.0
4	方粮	国防科技大学计算机学院微电子研究所	12	108	3.0	10.0