芯片生产废水处理技术探讨

• 作者: 季连芳 甘晓明 蒋卫刚 邢绍文
• 来源期刊: 给水排水
• 学科: 地球科学
• 关键词: 芯片生产废水 氟 氨 设备选型
• 年，卷（期）: 2006,（7）
• 所属期刊栏目: 工业给排水
• 页码范围: 59-61
• 页数: 3页
• 分类号: X7
• 字数: 3249字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-8471.2006.07.018

摘要

通过实地调研,结合工程经验,采用比较分析的方法,就芯片生产废水中典型的含氨废水、含氟废水、研磨废水和酸碱废水的处理分别给出了较优的处理工艺流程,即浓氨吹脱-两段沉淀-三级酸碱中和处理工艺,其处理效果较好,将含氟废水与CMP研磨废水混合处理可节省投资.同时,介绍了设备选型中应注意的问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邢绍文		8	171	5.0	8.0
2	蒋卫刚		5	15	1.0	3.0
3	季连芳		3	1	1.0	1.0
4	甘晓明		4	48	2.0	4.0