硅微压电超声换能器的设计与制作

• 作者: 乔东海 汤亮 汪承灏 郝震宏
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 声成像 硅微压电超声换能器 ZnO压电薄膜 复合振动膜 预应力分析
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 声微纳器件与技术
• 页码范围: 2272-2275
• 页数: 4页
• 分类号: TN7
• 字数: 3158字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.254

摘要

介绍了一种用ZnO薄膜作为压电层的硅微压电式超声换能器(PMUT).该硅微压电换能器的振动基膜采用LPCVD制作的氮化硅薄膜和PECVD制作的二氧化硅形成的复合振动膜结构.文中运用有限元方法对该硅微压电换能器的结构进行了模拟和计算,并进行了预应力对硅微换能器共振频率的影响的分析.实验测得硅微压电式换能器的共振频率为71.36 kHz.本文还使用该硅微超声换能器在油中进行了初步的共振频率点收发信号的实验,接收实验测得信号峰峰值为9 mV左右,发射实验标准水听器接收信号峰峰值为0.8 mV左右.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	汪承灏	中国科学院声学研究所	44	387	10.0	19.0
2	汤亮	中国科学院声学研究所	13	88	6.0	9.0
3	郝震宏	中国科学院声学研究所	9	101	7.0	9.0
4	乔东海	中国科学院声学研究所	25	166	8.0	11.0