低压条形栅功率场效应晶体管的研制

• 作者: 廖太仪 王立新 陆江
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 条形栅 VDMOS 功率场效应晶体管
• 年，卷（期）: 2006,（z1）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 205-207
• 页数: 3页
• 分类号: TN386.1
• 字数: 1736字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2006.z1.052

摘要

介绍一种新型低压平面结构的功率场效应晶体管--条形栅VDMOS.通过与传统的元胞型结构比较,发现条形栅具有导通电阻小、开关速度快以及工作稳定性高等特点.还对条形栅VDMOS的工艺做了介绍,其工艺过程简单,实用性强.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王立新	中国科学院微电子研究所	97	1160	17.0	30.0
2	陆江	中国科学院微电子研究所	12	42	4.0	6.0
3	廖太仪	中国科学院微电子研究所	1	0	0.0	0.0