扭梁悬臂梁支撑的扭摆式MEMS永磁双稳态机构

• 作者: 丁桂甫 冯建智 姜政 张东梅 王志明 王艳
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 永磁 双稳态 MEMS 微继电器
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 143-149
• 页数: 7页
• 分类号: TN603.5
• 字数: 4738字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2006.01.029

摘要

在进行理论分析证实可行性和模拟仿真优化参数后,利用非硅表面微加工方法中的牺牲层工艺制备了一种扭梁悬臂梁支撑的扭摆式MEMS永磁双稳态机构.该双稳态结构尺寸为1.9mm×1.6mm×0.03mm,通过永磁力实现稳态姿态无功耗保持,通过对其单侧触点施加纵向驱动力使之达到30μm的纵向驱动位移,可以实现机构的双稳态姿态切换,可以通过控制永磁体磁片、悬臂梁和扭梁的尺寸来灵活调控稳态切换所需的驱动力矩.此双稳态机构可与电磁驱动、电热驱动和静电驱动等类型的微驱动器联用构成永磁双稳态MEMS微继电器.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王艳	上海交通大学微纳科学技术研究院	91	927	17.0	27.0
2	丁桂甫	上海交通大学微纳科学技术研究院	60	503	12.0	19.0
3	姜政	上海交通大学微纳科学技术研究院	8	57	5.0	7.0
4	王志明	上海交通大学微纳科学技术研究院	16	185	7.0	13.0
5	张东梅	上海交通大学微纳科学技术研究院	7	23	3.0	4.0
6	冯建智	上海交通大学微纳科学技术研究院	6	30	3.0	5.0