共振隧穿二极管的压阻特性测试与研究

• 作者: 张文栋 桑胜波 毛海央 熊继军 薛晨阳 鲍爱达
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 共振隧穿二极管 压阻特性 一致性 灵敏度 喇曼光谱
• 年，卷（期）: 2006,（10）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1789-1793
• 页数: 5页
• 分类号: TN307
• 字数: 2210字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2006.10.018

摘要

设计并搭建了检测共振隧穿二极管(RTD)压阻特性的实验系统,测试了RTD结构在不同应力状态下I-V特性曲线的漂移.实验结果表明RTD结构压阻特性的灵敏度大于1×10-8Pa-1.为了更精确地定量表达其压阻特性,研究了同一RTD结构I-V特性的一致性,得到相同环境条件下RTD电阻的最大相对漂移量小于3%,其中1%由测试仪器造成.