基于数据采集的MEMS薄膜材料参数在线测试系统

• 作者: 李伟华 李巧萍
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 数据采集 材料参数 在线测试
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 测试、检测与控制
• 页码范围: 1535-1537,1541
• 页数: 4页
• 分类号: TN4
• 字数: 1936字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.059

摘要

建立了一套基于数据采集的MEMS薄膜材料参数在线测试系统.该系统包括测试图形,测试信号处理电路及外围附件和专用软件,能自动完成薄膜材料参数的在线测试.测试方法和测试设备简单,能用于工艺线上的在线测试.