垂直扫描白光干涉表面三维形貌测量系统

• 来源期刊: 光学技术
• 学科: 工学
• 关键词: 表面三维形貌 白光干涉 微动工作台 有限元分析
• 年，卷（期）: 2006,（4）
• 所属期刊栏目: 仪器、测量与计量
• 页码范围: 545-547,552
• 页数: 4页
• 分类号: TH7
• 字数: 3329字
• 语种: 中文

摘要

依据白光干涉理论,研制了垂直扫描白光干涉表面三维形貌测量仪.重点对实现垂直扫描运动的工作台进行了分析.所研制的测量系统具有1nm的垂直分辨力,可用于表面粗糙度、台阶、膜厚、球面等三维形貌测量.