影响牺牲层腐蚀速率的因素研究

• 作者: 丁纯 吴昌聚 王跃林 金仲和 马慧莲
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 腐蚀速率 牺牲层腐蚀
• 年，卷（期）: 2006,（3）
• 页码范围: 588-592
• 页数: 5页
• 分类号: TN405
• 字数: 4069字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.03.012

摘要

精确预测腐蚀速率对于避免过腐蚀和节省时间,从而提高MEMS器件加工的效率具重大意义.通过改变牺牲层材料、腐蚀液浓度、温度和牺牲层结构来改变腐蚀速率是常用的方法.在前人腐蚀模型基础上考虑扩散系数是浓度和温度的函数,腐蚀速率常数是温度的函数,得到了修正模型.从修正模型中找出影响腐蚀速率的各种因素的对应参数,并对其影响腐蚀速率的机理进行详细地研究,这样就为通过修改某些因素来改变腐蚀速率提供了依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	金仲和	浙江大学信息与电子工程系	144	1047	18.0	25.0
2	吴昌聚	浙江大学信息与电子工程系	18	111	6.0	10.0
3	马慧莲	浙江大学信息与电子工程系	57	569	13.0	21.0
4	王跃林	浙江大学信息与电子工程系	39	434	11.0	19.0
5	丁纯	浙江大学信息与电子工程系	12	280	8.0	12.0