非晶硅微测辐射热计热学和光学分析

• 作者: 吴志明 廖乃镘 李世彬 李伟 蒋亚东
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微测辐射热计 非晶硅 微桥 有限元
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 光微纳器件
• 页码范围: 1721-1724
• 页数: 4页
• 分类号: TN2
• 字数: 3528字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.108

摘要

通过理论计算得到了桥腿长度和宽度与热导和桥面温升之间的线性关系,辐射功率和桥面温升之间的线性关系,并利用ANSYS软件对线性关系进行模拟验证.根据光学导纳矩阵法,利用MatLab软件模拟微测辐射热计对红外线的吸收率,结果表明微测辐射热计对8～13μm波段红外有很好的吸收率.分析结果为微测辐射热计的研制提供了可靠依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴志明	电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室	78	544	13.0	17.0
2	蒋亚东	电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室	318	2024	18.0	25.0
3	李伟	电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室	75	359	10.0	14.0
4	李世彬	电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室	9	91	6.0	9.0
5	廖乃镘	电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室	8	66	5.0	8.0