钛酸锶钡薄膜微细图形的制备

• 作者: 张卫华 李莺 赵卫 赵高扬
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 钛酸锶钡 铁电薄膜 微细图形 溶胶凝胶
• 年，卷（期）: 2006,（9）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1590-1594
• 页数: 5页
• 分类号: TN104.2
• 字数: 1910字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2006.09.015

摘要

采用化学修饰的溶胶凝胶工艺,制备了具有紫外光感应特性的钛酸锶钡(Ba0.8Sr0.2TiO3)溶胶及其凝胶薄膜.提出了钛酸锶钡薄膜微细加工的新方法,即以苯酰丙酮(BzAcH)为化学修饰剂,乙酸钡、氯化锶、钛酸丁酯为原料,甲醇为溶剂,乳酸为催化剂,合成了具有螯合物结构的前驱溶胶体系.其螯合物的特征吸收峰在358nm附近,该溶胶及其凝胶薄膜在室温下有较好的化学稳定性;高压汞灯产生的紫外光照射可以分解薄膜中的螯合物结构,伴随着这种螯合物结构的分解,薄膜在乙醇中的溶解性迅速降低,从而表现出紫外光感应特性.利用这种光感应特性,采用紫外光通过掩膜照射薄膜,然后在乙醇中溶洗,获得了凝胶薄膜的微细图形,进一步通过600℃晶化热处理,最后得到了具有钙钛矿相结构和铁电特性的钛酸锶钡薄膜的微细图形.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张卫华	西安理工大学材料科学与工程学院	27	162	8.0	11.0
2	赵高扬	西安理工大学材料科学与工程学院	72	349	10.0	14.0
3	赵卫	中国科学院西安光学精密机械研究所	130	1414	20.0	30.0
4	李莺	西安理工大学材料科学与工程学院	2	15	2.0	2.0