垂直腔面发射激光器的TO封装工艺操作误差分析

• 作者: 侯广辉 刘超 张雅丽 张韬 徐桂芝 祝宁华
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 耦合效率 垂直腔面发射激光器 封装
• 年，卷（期）: 2006,（8）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1480-1483
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.94
• 字数: 1436字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2006.08.029

摘要

采用FRESNEL光学软件和MATLAB编程,详细分析了垂直腔面发射激光器的TO封装工艺操作误差对耦合效率的影响.发现在芯片横向偏移、芯片倾斜和管帽倾斜这三种操作误差中,管帽倾斜对封装组件的耦合效率影响最大.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	祝宁华	中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室	50	272	9.0	11.0
2	刘超	中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室	128	874	18.0	25.0
3	张韬	中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室	8	38	4.0	6.0
4	张雅丽	中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室	9	176	6.0	9.0
5	徐桂芝	中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室	3	8	2.0	2.0
6	侯广辉	中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室	1	3	1.0	1.0